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產品詳情
  • 產品名稱:Cygnus 2 薄膜沉積控制器

  • 產品型號:CYG2-2312000
  • 產品廠商:INFICON
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
Cygnus 2 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上,增添了更多獨特的功能,可幫助您實現 OLED 過程的極大價值。
詳情介紹:

Cygnus 2 薄膜沉積控制器

為 OLED 應用提供上佳測量精度



Cygnus 2 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上,增添了更多獨特的功能,可幫助您實現 OLED 過程的極大價值。Cygnus 2 使用我們 ModeLock 頻率測量系統,提供穩定、高分辨率的速率和厚度測量,速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 ?/s,是行業中的佼佼者。Cygnus 2 具有其他石英晶體控制器無法比擬的性能、品質和功能,賦予您的過程超卓的可重復性。


功能

  • INFICON ModeLock 技術確保獲得極高、極穩定的速率和厚度測量分辨率,即使在速率極低的情況下
  • Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值,可提高厚度測量的精度
  • 一個 Cygnus 2 即可同時、單獨或以任何組合方式控制超多 6 個來源,無需使用兩個或三個控制器
  • 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
  • 10 Hz 測量
  • 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
  • USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄
  • 多個源厚度合計功能
  • 測量低密度、低速率材料的平均速率(使用穩定源的低速率 OLED 摻雜材料沉積超多 30 秒)
  • 速率顯示分辨率可達0.001?
  • 4 米 XIU 選件能夠在大型系統中使用較長的真空傳感器電纜
  • 無沉積控制允許持續控制源,因為基片可以通過沉積室不斷循環
  • 6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監控
  • 可選以太網通信
  • 符合 RoHS 標準


杭公網安備 33010502004916號

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